一、夜半聞喜訊
　　 “清華又立新功，路新春教授帶領(lǐng)的團隊研發(fā)又一芯片設(shè)備解決該領(lǐng)域國外‘卡脖子’問題?！崩贤瑢W(xué)任海倫在群里發(fā)出了一個視頻，報告這一重大喜訊。
　　 這個走在科技前沿的路新春教授，真的是我們的老同學(xué)嗎？
　　 曾做過多家集團總工程師，自2009——2021在清華航院從事航空設(shè)計的老同學(xué)牟學(xué)利知曉路新春多年的付出，他由衷地慨嘆：“二十年不懈追求，終究功成，為您自豪！”
　　 牟日敏，這個在政府最基層兢兢業(yè)業(yè)為棲霞百姓解決果樹栽培、管理技術(shù)的高級農(nóng)藝師，用最通俗的比方開著玩笑，來表達著內(nèi)心對老同學(xué)的欽佩：“按照比例，路大咖吃海參鮑魚，我吃塊地瓜、玉米餅子差不多?！?br />　　 JuliaZhang（張振榮）西班牙誠信基金會理事長，多年來為旅西華人能更好更快地融入西班牙社會以及華人二代、三代的健康成長與發(fā)展做了大量工作，為中國與西班牙的之間良好交流做出了重要貢獻。盡管與我們有著七個小時的時差，但是，發(fā)現(xiàn)老同學(xué)發(fā)在群里的喜訊，抑制不住內(nèi)心的自豪，一如以往那個活潑聰穎的小姑娘，她興奮地歡呼起來：“哇！太棒了！好自豪?。】梢赞D(zhuǎn)發(fā)嗎？”
　　 山大的丁教授，我們的班長，也是一如既往地嚴(yán)謹(jǐn)，特意百度官方消息鏈接：“機械系路新春教授帶領(lǐng)研發(fā)首臺12英寸超精密晶圓減薄機正式進入集成電路大生產(chǎn)線?！贝蠹s怕我們這些外行不懂得這個“晶圓”的價值，用了我們最熟悉的棲霞蘋果作比方，“一片晶圓頂一車皮蘋果！”已經(jīng)是夜里十一點半了，被這一喜訊驚動，一直忙于工作的齊魯名醫(yī)牟青慧終于露面：“剛?cè)肴杭匆姶笙彩拢ＹR路教授，為你傲驕！海倫好，謝謝你分享這個令人鼓舞的好消息！”任海倫同學(xué)客氣著：“影響同學(xué)們休息了，不好意思。路新春教授驕人的業(yè)績確實可喜可賀?！?br />　　 行家看門道，外行看熱鬧。路教授的研發(fā)，到底有多大的價值，作為科技盲，我一竅不通。同與他來自古鎮(zhèn)都聯(lián)中、且在清華工作過的牟學(xué)利預(yù)測：“路新春?，我感覺您的晶圓減薄機有科技進步一等獎的可能。不過現(xiàn)在條件有些嚴(yán)格，需100個專利，100億產(chǎn)值。”他的話，讓我們對路教授團隊的研發(fā)價值有了具體量化的了解。
　　 面對大家的贊美，路新春同學(xué)很是謙遜：“咱們班個個都是能人，在各行各業(yè)為黨為祖國為人民為家庭做出了不可磨滅的貢獻，我只不過是晚熟，后知后覺，該退休年齡了還在瞎折騰而已，無他?！?br />　　
　　 二、產(chǎn)業(yè)報國，還看新春
　　 “產(chǎn)業(yè)報國，還看新春！”山東工商學(xué)院的崔滬教授連連翹著大拇指。
　　 帶著好奇，更懷著驕傲，我開始在網(wǎng)上搜尋關(guān)于關(guān)于路新春教授的報道。
　　 “據(jù)清華大學(xué)新聞網(wǎng)報道，該裝備是路新春教授團隊與華海清科股份有限公司繼解決我國集成電路拋光裝備‘卡脖子’問題后的又一突破性成果，將應(yīng)用于3DIC制造、先進封裝等芯片制造大生產(chǎn)線，滿足12英寸晶圓超精密減薄工藝需求?！?br />　　 “面向國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局，自2000年起，路新春教授團隊開展化學(xué)機械拋光（CMP）基礎(chǔ)研究，承擔(dān)國家重大科技攻關(guān)任務(wù)十余項，成功孵化華海清科并研制出我國第一臺12英寸‘干進干出’CMP裝備及系列產(chǎn)品，整體技術(shù)達到國際先進水平，實現(xiàn)28nm工藝量產(chǎn)，并具備14-7nm工藝拓展能力，市占率、進口替代率均位居國產(chǎn)IC裝備前列?！?br />　　 在2021北京微電子國際研討會暨ICWORLD大會華海清科邀請函中，我讀到了這樣的字眼：“作為一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商，華海清科主要從事化學(xué)機械拋光（CMP）、研磨等設(shè)備和配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，以及晶圓再生代工服務(wù)?！?br />　　 “擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)”，這幾個字，讓人不由得心潮澎湃，激動不已。
　　 落后就意味著挨打。曾經(jīng)，我們的祖國國力衰弱，為列強入侵、蹂躪，生靈涂炭，國破家亡，是毛澤東主席與無數(shù)的革命先輩拋頭顱灑熱血，領(lǐng)導(dǎo)華夏兒女浴血奮戰(zhàn)，打下了紅色江山，讓中國人民站起來了。曾經(jīng)，蘇聯(lián)卡我們的脖子，年輕的共和國百廢待興，無數(shù)的科學(xué)家忍受著物質(zhì)極度匱乏與惡劣的工作環(huán)境，潛心研發(fā)，讓原子彈、氫彈爆炸，使我們的民族完全擺脫任人宰割危機四伏噩夢一般的日子；讓衛(wèi)星升天，“東方紅”唱響寰宇。毛澤東主席倡導(dǎo)以獨立自主、自力更生、艱苦奮斗的精神“走自己的建設(shè)道路”，激勵著科技工作者創(chuàng)造出一個又一個世界奇跡。然而，畢竟我們國家工業(yè)化的底子薄，加上十年動亂的影響，好多領(lǐng)域我們還遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于世界先進水平。
　　 曾經(jīng)看到過一個視頻，中國科學(xué)院院士，何祚庥夫婦在痛心疾首披露著一個眾所周知的現(xiàn)實：現(xiàn)在醫(yī)院中的大型醫(yī)療設(shè)備95%依賴進口，即使是何院士耳朵里戴的小小助聽器也是進口國外，十萬人民幣一對，而中國物理在此方面貢獻甚微。這些年中國科技的確有了巨大進步，但還有好多制造業(yè)的一些關(guān)鍵配件、原材料還需依賴外國進口，一旦國外封鎖，就會給很多行業(yè)帶來危機。
　　 習(xí)近平總書記在考察清華大學(xué)時曾指出，要把服務(wù)國家作為最高追求。
　　 在路新春教授帶領(lǐng)的團隊身上，我感受到了科技工作者強烈的使命感和愛國熱情，他們刻苦攻關(guān)，自覺履行高水平科技自立自強的使命擔(dān)當(dāng)，努力提升服務(wù)社會、服務(wù)國家的技術(shù)創(chuàng)新能力，一步一個堅實的腳印，向世界高科技先進水平攀登。
　　 化學(xué)機械平坦化（CMP），也稱化學(xué)機械拋光，是通過使用化學(xué)腐蝕和機械作用對加工過程中的晶圓進行平坦化處理，以獲得納米級別平整表面的全局平坦化方法，是超大規(guī)模集成電路制造的五大關(guān)鍵技術(shù)之一。自2000年起，清華大學(xué)機械系雒建斌院士、“長江學(xué)者”路新春教授帶領(lǐng)研究團隊從事拋光技術(shù)研究，在拋光技術(shù)與拋光裝備研究領(lǐng)域上均取得了突出的成績，相關(guān)研究成果獲得了教育部科技進步一等獎和國家科技進步獎二等獎。團隊研制出的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的12英寸CMP裝備，其主要技術(shù)指標(biāo)和拋光性能與目前國際上主流設(shè)備相當(dāng)，且具有結(jié)構(gòu)簡單、控制簡便、生產(chǎn)效率高的特點。
　　 為推動項目發(fā)展，2013年3月，清華大學(xué)聯(lián)合天津市政府，投資設(shè)立了天津華海清科機電科技有限公司，路新春任董事長和首席科學(xué)家，他帶領(lǐng)團隊研發(fā)和生產(chǎn)具有我國自主知識產(chǎn)權(quán)、技術(shù)達到國際先進水平的高端CMP設(shè)備，填補我國不能生產(chǎn)CMP設(shè)備的歷史空白，為我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)提供先進的拋光設(shè)備。
　　 華海清科自成立以來，一直致力于高端CMP設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化工作，并取得重大進展，現(xiàn)擁有獲授權(quán)技術(shù)發(fā)明專利100余項，是目前國內(nèi)唯一可提供12英寸CMP量產(chǎn)商業(yè)機型能力的企業(yè)。
　　 2017年清華產(chǎn)業(yè)重大科技轉(zhuǎn)化成果亮相高交會，清華控股10大重大科技成果轉(zhuǎn)化，其中超大規(guī)模集成電路制造化學(xué)機械拋光機即是華海清科研發(fā)的。
　　 2019年5月世界半導(dǎo)體大會上，華海清科“12英寸化學(xué)機械拋光設(shè)備Universal-300Plus”因其卓越的創(chuàng)新、優(yōu)異的性能、迅速獲得市場高度認(rèn)可而獲選2018年度中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品！2019年清華大學(xué)華海清科榮獲中國機械工業(yè)科學(xué)技術(shù)（發(fā)明）特等獎、天津市科學(xué)技術(shù)獎（發(fā)明）一等獎。
　　 2020年4月，華海清科榮獲上海華力2019年度“最具潛力供應(yīng)商”獎。
　　 2020年5月，集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟舉辦的2020集成電路產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會在北京召開。在備受矚目的第三屆IC創(chuàng)新獎的頒獎環(huán)節(jié)，華海清科憑借“12英寸Dual系列化學(xué)機械拋光（CMP）設(shè)備”項目斬獲“技術(shù)創(chuàng)新獎”殊榮。
　　 2021年5月，華海清科榮獲華虹宏力2020年度“優(yōu)秀供應(yīng)商”。
　　 2021年9月27日，作為我國集成電路裝備行業(yè)的核心企業(yè)之一，華海清科股份有限公司成功推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的十二英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300，于9月27日發(fā)往某客戶大生產(chǎn)線。
　　 新年伊始，佳績頻傳。2022年1月7日，華海清科12英寸化學(xué)機械拋光（CMP）設(shè)備順利出貨，進入先進封裝國際頭部企業(yè)，做TSV化學(xué)機械拋光。這是繼邏輯芯片、存儲芯片、大硅片、化合物半導(dǎo)體之后，我司CMP設(shè)備在先進封裝這一重要領(lǐng)域的進一步拓展，充分彰顯了華海清科國產(chǎn)集成電路裝備品牌硬實力。
　　 將科技成果轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)，讓科技進步與國家現(xiàn)代化和民族復(fù)興同向同行，華海清科董事長、首席科學(xué)家路新春教授以及華海清科人身上，真實體現(xiàn)了華夏子孫高度的社會責(zé)任感，他們憑借不懈的努力，讓科技進步在我國經(jīng)濟社會發(fā)展中發(fā)揮到了支撐引領(lǐng)作用。
　　
　　 三、曾經(jīng)那個翩翩少年
　　 身著軍裝色的上衣，白皙的臉龐，瘦削的身材，一雙劍眉上挑，瞇縫著的眼睛盡管不大，但十分有神。平時里斯文儒雅，風(fēng)度翩翩；操場上生龍活虎，神采飛揚。這是高中時代的他。
　　 熟悉他的同學(xué)說，小時候，路新春的聰明就在十里八鄉(xiāng)遠(yuǎn)近聞名，中學(xué)的初一初二是范家聯(lián)中上學(xué)，他在學(xué)?？偸堑谝?，其驕人的成績用他同學(xué)的話來講，就是只能望其項背。初三進公社重點班——古鎮(zhèn)都中學(xué)，由于初二才開始開設(shè)英語課、英語老師也是現(xiàn)學(xué)現(xiàn)賣，開始時英語考試只能得個十幾分。因為那個時候，全縣英語老師青黃不接，師資力量薄弱。記得我初一時，開始沒有老師教英語，后來聘請了一位還沒有平反的老人家教我們，他是被打成右派下放到農(nóng)村改造的，非師范畢業(yè)的老師只是領(lǐng)著我們反復(fù)讀，但是我們不會音標(biāo)，不懂發(fā)音規(guī)律呀，所以學(xué)英語全靠死記硬背。記得老師教給大家讀“What\'s this”，我們就在英語句子下標(biāo)注：“我此罪死”。七年級的英語老師是去突擊培訓(xùn)了八個月后回來教我們的，正是這些培訓(xùn)英語八個月的老師，不斷在教學(xué)中學(xué)習(xí)，后來扛起了棲霞初級中學(xué)英語教學(xué)的大旗。我讀初中時，高中根本沒有開設(shè)英語課，去姐姐所在的高中宿舍住宿，她的同學(xué)問我“枕頭”怎么讀，我不會，她們搞笑地編排道：“枕頭是‘外布里是糠’”。
　　 英語教學(xué)師資力量薄弱，全縣都差不多情況。而路新春同學(xué)居然在初三一年的時間里發(fā)奮努力，奮力直追，之后脫穎而出，以優(yōu)異的成績考進了縣重點班。在一年時間里要把六冊英語的知識學(xué)會搞懂，盡管聰明如他，這期間的付出，不言而喻。當(dāng)時初中和他是同學(xué)的，有好幾個數(shù)理化成績不錯，但因為英語不行，沒有考上重點班，以至于沒有考上大學(xué)。
　　 進入高中縣重點八一級一班，畢竟這里云集了全縣的精英學(xué)子，路新春進班時為中游，不甘人后的他，學(xué)習(xí)上奮勇直追，甩下好幾十人，最好考到班級第二名。不僅學(xué)習(xí)不肯輸給他人，體育方面也是如此。高中時的運動會上，他獲得800米和1500米的冠軍，成績甚至超過了當(dāng)時體育班的同學(xué)。
　　 高考，對于平時優(yōu)秀的他來說，算是失利了，盡管如此，也夠了復(fù)旦的線，可惜所報專業(yè)是計算機、管理等，也許因著數(shù)學(xué)成績不太理想吧，沒被錄取，最后被吉林工業(yè)大學(xué)（現(xiàn)在的吉林大學(xué)）招生的老師看到了，就提檔了。后來老師說，還怕他不去呢。他自己內(nèi)心其實也動搖過，稀里糊涂去他從不曾想到過的吉林工大，心有不甘，甚至想著復(fù)讀過。最后還是決定去讀大學(xué)了。
　　 在那兒，成績優(yōu)秀的他，學(xué)習(xí)起來很是輕松，于是，他有了精力去玩他喜歡的體育活動。他是一個只要有目標(biāo)就立即行動的人，他主動去找校隊教練，請求加入學(xué)校中長跑隊。那時候校隊開始有特招生了，他是一個正常招生的，先是跟特招生一起試訓(xùn)，當(dāng)然吃了很多苦，但是，他堅持下來了，最后被學(xué)校田徑隊正式接納。除了喜歡，還有一個主要原因是校隊有伙食補貼，訓(xùn)練日每天6毛錢，另外有隊服，用他的話說，穿著挺牛逼的。這對于出身農(nóng)村家庭不甚富裕的孩子來說，誘惑力巨大。因為獲得了校隊吃和穿的福利，是可以減輕父母的負(fù)擔(dān)啊。后來教練看他肢體的協(xié)調(diào)性還不錯，就讓他改練競走。
　　 做什么事，非得做出個樣子不可。他練習(xí)競走甚能吃苦，功夫不負(fù)有心人，他在這一方面也成績輝煌，曾經(jīng)拿過長春市、吉林省的5公里競走冠軍。1986年，他被選拔代表吉林省大學(xué)生參加了在大連舉行的第二屆全國大學(xué)生運動，競走得了第六名，因為這次沒能得到獎牌，他一直耿耿于懷。
　　 熟悉他的崔滬教授曾經(jīng)爆料：路新春酷愛體育運動，高中時曾帶領(lǐng)我們81級1班拿過全校5000米長跑團體冠軍?？赐晟倭炙?，是他告訴我李連杰一秒鐘能出七拳，曾經(jīng)來山東工商學(xué)院跟我打過羽毛球，他是羽毛球高手，水平也相當(dāng)了得。
　　 不甘人后，嚴(yán)謹(jǐn)，認(rèn)真，能吃苦，不管做什么，只要認(rèn)準(zhǔn)目標(biāo)，竭盡全力努力去爭取做最好的。路新春，從青澀靦腆的中學(xué)生到活力四射的大學(xué)生，一直都是如此。
　　
　　 四、串串閃光的足跡
　　 路新春為華海清科的首席科學(xué)家，也是該公司的技術(shù)、產(chǎn)品研發(fā)帶頭人，累計獲已授權(quán)國家發(fā)明專利100多件，獲授權(quán)美國專利3件，獲授權(quán)臺灣專利3件。曾牽頭起草1項企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。目前，為國家自然科學(xué)基金重大項目負(fù)責(zé)人，曾是國家自然科學(xué)基金重大研究計劃集成項目負(fù)責(zé)人、國家科技重大專項02專項項目負(fù)責(zé)人，曾為國家“973”計劃課題負(fù)責(zé)人，多項自然科學(xué)基金項目負(fù)責(zé)人。路新春發(fā)表SCI收錄論文200多篇，被引用2000多次，H因子為30，是位居全球CMP設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)專家前三名，也是全球CMP設(shè)備技術(shù)授權(quán)專利獲得最多的專家。